由于电子产品的特殊性，高科技电子工业厂房对微振动的要求高于普通厂房。太大的环境振动会影响精密生产设备的对准、曝光、量测、修补结果及显微影像辨识，进而降低产品的合格率，延长生产时间。

厂房振动路径来源有很多，如下图。实际生产过程中会更复杂。

测量厂房振动是否满足生产仪器的标准，可以通过下面的VC曲线来评估。

晶钻仪器为研究电子工业厂房主体结构的微振动特性，采用国际通用的1/3倍频程分析发对个测点速度、加速度时域数据进行处理，对比分析自由场地及厂房主体结构的微振动响应特性。分析该电子厂房内各测点微振动是否满足VC曲线标准。

打开动态信号分析仪CoCo-80X，进入DSA模式。选择倍频程滤波器选项，启用倍频程分析功能。设置响应的参数，并选择VC曲线选项。

如上图，CoCo-80X信号采集与分析仪这样就可以得到实测数据与VC曲线的对比图了，非常方便。

当然，你也可以使用CoCo-80X记录时域信号，通过网线或SD卡下载到PC电脑中，借助于晶钻PA后处理软件，同样在倍频程分析功能中通过VC曲线显示对比，并生成报告。